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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "氮化鎵".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="端面處理"


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    研究氮化鎵垂直共振腔面射型雷射之共振腔的端面處理
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 張哲嘉 指導教授: 葉秉慧
    • 本研究旨在探討乾式以及濕式蝕刻對於VCSEL共振腔端面的影響。透過兩種商用矽基板磊晶生長的氮化鎵LED晶圓,我們成功研製出了改善共振腔端面粗糙度的方法,使用KOH和UVO製程,成功將共振腔端面的表面…
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    • 全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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